[发明专利]结晶方法、薄膜晶体管制造方法、薄膜晶体管及显示装置无效
| 申请号： | 200510074261.9 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1716071A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 平松雅人;小川裕之;松村正清 | 申请（专利权）人： | 株式会社液晶先端技术开发中心 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;G02F1/133;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结晶方法，该方法使移相器(6)将从受基准分子激光器单元2射出的波长为248nm或300nm或更长的激光束相位调制为具有在横截面内包含多个倒三角形峰值图形的光强度分布的激光束并且将脉冲激光束照射到用于结晶的要被结晶的衬底(8)上。要被结晶的衬底(8)具有如下结构，将对激光束具有吸收特性并且Si和O的相对比例不同的一层或多层氧化硅膜提供在激光束入射表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 结晶 方法 薄膜晶体管 制造 显示装置 | ||
【主权项】：
1、一种将激光束照射到非单晶半导体膜的入射表面上以使该半导体膜结晶的结晶方法，该激光束的光强度分布在其横截面上包括多个倒三角形峰值图形，该结晶方法的特征在于包括步骤：在所述非单晶半导体膜的入射表面上，提供对所述激光束具有吸收特性的罩膜。
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