[发明专利]磁头无效
| 申请号： | 200510074367.9 | 申请日： | 2005-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN1702740A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 安井启人;稻叶宏;佐佐木新治;石崎浩 | 申请（专利权）人： | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/255 | 分类号： | G11B5/255;G11B5/39;G11B5/60;G11B21/21 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨林森;谷惠敏 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供极薄的膜状态的具有好的腐蚀抗力、电绝缘性能和机械磨损抗力的空气承载表面保护膜。通过淀积具有高密度、高阻抗、化学稳定性和对基底的高粘附力的氮化硅薄膜作为空气承载表面保护膜底层、并淀积包括四面体无定形碳和氮的膜层作为空气承载表面保护膜顶层来得到具有好的腐蚀抗力、电绝缘性能和机械磨损抗力的极薄的空气承载表面保护膜。 | ||
| 搜索关键词： | 磁头 | ||
【主权项】：
1.一种磁头，其中在面对磁记录介质的磁性读/写元件表面覆有保护膜，其中该保护膜包含一组多层薄膜，该多层薄膜包括：空气承载表面保护膜的底层，其为与磁性读/写元件接触的包括含有氮和硅的膜层；以及空气承载表面保护膜的顶层，其位于空气承载表面保护膜的最上表面，包括含有四面体无定形碳和氮的膜层。
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