[发明专利]电路装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200510074714.8 申请日: 2005-05-31
公开(公告)号: CN1705105A 公开(公告)日: 2005-12-07
发明(设计)人: 五十岚优助;高草木贞道;水原秀树;臼井良辅 申请(专利权)人: 三洋电机株式会社
主分类号: H01L23/12 分类号: H01L23/12;H01L23/50;H01L23/28;H01L23/34;H01L21/48;H01L21/50;H01L41/083
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 李贵亮;杨梧
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种电路装置及其制造方法,具有多层配线结构,且散热性也优良。本发明的电路装置(10)中,具有第一导电图(18A)及第二导电图案(18B)的多层配线结构形成于电路衬底(16)的表面。在电路衬底表面的整个区域形成第一绝缘层(17A)。第一导电图案(18A)和第二导电图案18(B)通过第二绝缘层(17B)绝缘。第二绝缘层(17B)中含有的填充物的量比第一绝缘层(17A)中含有的填充物少,且其直径小。因此,容易贯通第二绝缘层(17B)连接两导电图案。
搜索关键词: 电路 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种电路装置,其特征在于,包括:电路衬底;第一绝缘层,其形成于所述电路衬底表面;第一导电图案,其形成于所述第一绝缘层表面;第二绝缘层,其覆盖所述第一导电图案;第二导电图案,其介由所述第二绝缘层层积在所述第一导电图案上,在所述各绝缘层中填充填充物,在所述第一绝缘层中比所述第二绝缘层混入量多的所述填充物。
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