[发明专利]利用长程溅射制作液晶取向膜的方法无效
| 申请号： | 200510074786.2 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1873046A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 官大双;张逸明;林佳德;詹佳璁 | 申请（专利权）人： | 联诚光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用长程溅射制作液晶取向膜的方法，其包括将一基底置于一反应室内的一基底乘座上，再利用一高密度等离子体轰击设于基底上方的一靶材，以产生一溅射物质，同时于反应室内提供一偏压，以使溅射物质提供一近似垂直的溅射方向，且溅射物质依此溅射方向沉积于基底表面以形成一液晶取向膜，其中靶材与基底间的距离大于20厘米。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 长程 溅射 制作 液晶 取向 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用长程溅射制作液晶取向膜的方法，该方法包括：将一基底置于一反应室内的一基底乘座上；利用一高密度等离子体轰击设于该基底上方的一靶材，以产生一溅射物质；以及于该反应室内提供一偏压，以使该溅射物质提供一近似垂直的溅射方向，且该溅射物质依此溅射方向沉积于该基底表面以形成一液晶取向膜；其中该靶材与该基底间的距离大于20厘米。
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