[发明专利]小型电容耦合等离子反应器/生成器及方法

摘要

说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。

主权项

1.一种构建等离子反应器/生成器的方法，其包括：提供一个限定内部空间的室；提供多个置于所述室内的阳极结构和阴极结构；每个所述阳极结构和所述阴极结构分别具有多个阳极和阴极表面，其中相邻的阳极和阴极表面彼此相对并且彼此分离以限定其间的气体空间；为所述阳极表面提供共同电连接，并且为所述阴极表面提供共同电连接；在所述阳极结构和所述阴极结构的所述相对表面提供多个导电翼片组件，所述翼片组件延伸到所述相对表面之间的所述空间内，从而将所述空间分割成多个小室；以及布置并形成所述小室以构成选定的形状以控制在所述空间内等离子体的特性。