[发明专利]接触探针及其制造方法和检查装置以及检查方法无效
| 申请号： | 200510076160.5 | 申请日： | 2002-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN1693903A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 平田嘉裕;羽贺刚;沼泽稔之;仲前一男;冈田一范;依田润 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种接触探针的制造方法。其包括：电铸工序，其使用在衬底(521)上配置的、具有和接触探针对应形状的图形框的抗蚀层(522)，进行电铸而填平抗蚀层(522)的间隙而形成金属层(526)；尖端加工工序，其将上述金属层(526)中成为接触探针尖端部的部分斜着削成尖；取出工序，其从图形框中只取出金属层(526)。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 探针 及其 制造 方法 检查 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种接触探针，其特征在于，由尖端部(11)和基部(12)构成；其尖端部在一端具有接触被检查回路的接触端，全体略成柱状；其基部对着该尖端部(11)的接触端的相反侧的另一端并且保持间隙而设置；通过按压该尖端部(11)与被检查回路(20)接触，该尖端部(11)和该基部(12)接触，并且，通过接触面(14，15)的偏移，该尖端部(11)在与被检查回路(20)的表面平行方向移动。
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