[发明专利]组合式真空泵和加载互锁装置组件有效
| 申请号： | 200510076250.4 | 申请日： | 2005-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1696512A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | G·亨特利;N·G·贝勒尼 | 申请（专利权）人： | 波克股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;H01L21/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种加载互锁装置和干式真空泵组件，包括：一具有加载互锁外壳的加载互锁装置，该加载互锁外壳包括一配合系统，该配合系统具有一法兰状圆柱体和一相对于该法兰状圆柱体同心设置的圆柱体；一干式真空泵，该干式真空泵包括一根轴，一转子，一从转子向外延伸的第一同心圆柱体和第二同心圆柱体，且与配合系统整体连接，第一和第二干式真空泵同心圆柱体，法兰状圆柱体，以及相对于该法兰状圆柱体同心设置的圆柱体都相对于该轴轴向分布；和一分子拖曳压缩级，该压缩级由具有螺旋形结构的有选择地设置在第一和第二同心圆柱体、法兰状圆柱体、和相对于该法兰状圆柱体同心设置的圆柱体上的凸缘形成。第一和第二同心圆柱体相对于法兰状圆柱体和相对于法兰状圆柱体同心设置的圆柱体旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 组合式 真空泵 加载 互锁 装置 组件 | ||
【主权项】：
1、一种加载互锁装置和干式真空泵组件，包括：一具有加载互锁外壳的加载互锁装置，所述加载互锁外壳包括一配合系统，其中，所述配合系统包括一法兰状圆柱体和一相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体，一和所述配合系统整体连接的干式真空泵，所述干式真空泵包括一轴、一转子、从所述转子向外延伸的第一同心圆柱体和第二同心圆柱体，其中，所述第一和第二同心圆柱体、所述法兰状圆柱体和所述相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体相对于所述轴轴向分布，和具有螺旋形结构的多个凸缘，所述凸缘可有选择地设置在所述第一和第二同心圆柱体、所述法兰状圆柱体和所述相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体上，其中，所述第一和第二同心圆柱体相对于所述法兰状圆柱体和相对于法兰状圆柱体同心设置的所述圆柱体旋转，以便形成分子拖曳压缩级。
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