[发明专利]缺陷检测方法有效
| 申请号： | 200510076355.X | 申请日： | 2005-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1877292A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 林坤 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测方法。首先提供一半导体检测件，且该半导体检测件中包括至少一缺陷，然后利用一失效分析(FA)技术，于该半导体检测件的背面检测出至少一可疑异常区域(suspected area)，接着利用一物理能量，于该半导体检测件背面的该可疑异常区域周围形成多个参考标记，最后利用该些参考标记，于该半导体检测件的正面标定出该缺陷的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测方法，该缺陷检测方法包括下列步骤：提供一半导体检测件，且该半导体检测件中包括至少一缺陷；利用一失效分析技术，于该半导体检测件的背面检测出至少一可疑异常区域；利用一物理能量，于该半导体检测件背面的该可疑异常区域周围形成多个参考标记；以及利用该些参考标记，于该半导体检测件的正面标定出该缺陷的相对位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联华电子股份有限公司，未经联华电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510076355.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大黄枸杞保肝胶囊
- 下一篇：一种糖精钠结晶母液的处理方法
