[发明专利]光反应装置

摘要

本发明提供一种光反应装置(1)，具有：LCD投影器(3)，通过向显示输入图像的LCD面板照射光，投影图像；试样设置台(16)，用于设置光反应性的试样；缩小投影透镜(13)，缩小来自LCD投影器(3)的投影光，使其成像在试样上；缩放调整机构(4)，用于调整成像在试样上的图像的投影倍率。缩放调整机构(4)，由用于调整LCD面板和缩小投影透镜(13)间的距离的第1调整基座(11)，和用于调整缩小投影透镜(13)和试样间的距离的第2调整基座(12)构成。由此，能够提供廉价且迅速地实现微型图案的制作的光反应装置。

主权项

1.一种光反应装置，其特征是，具有：LCD投影器，通过向显示输入图像的LCD面板照射光，投影所述图像；试样设置台，用于设置光反应性的试样；缩小投影透镜，缩小来自所述LCD投影器的投影光，使其成像在所述试样上；缩放调整机构，用于调整成像在所述试样上的图像的投影倍率。