[发明专利]载物台装置和图像测量装置有效
| 申请号： | 200510076671.7 | 申请日： | 2005-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1707248A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 上山修一;西辻丰 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;G02B21/06;G01B9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种载物台装置，它具有：放置玻璃(210)，在其上表面上具有大致平面的载物面(211)，在该载物面(211)上放置有规定工件(W)；面状的面发光体(220)，它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上，透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明；支承部(300)，它支承面发光体(220)下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 装置 图像 测量 | ||
【主权项】：
1.一种载物台装置，其特征在于，具有：透光性板材，在其上表面上具有大致为平面的载物面，在该载物面上放置规定工件；面状的面发光体，其设置在上述透光性板材的下表面的大致整个表面上，透过上述透光性板材对上述工件进行透射照明；平面度调整构件，它支承上述面发光体下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整上述载物面的平面度。
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