[发明专利]产生期望的光束模式的差分干涉仪无效
| 申请号： | 200510076692.9 | 申请日： | 2005-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1727837A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 凯文·R·费恩;格雷格·C·菲利克斯;约翰·J·伯克曼;道格拉斯·P·伍尔韦尔托 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种产生期望的光束模式的差分干涉仪。干涉仪系统包括菱形组件，该组件具有第一光学堆和安装在第一堆上的第二光学堆。第一堆包括具有斜面的第一棱镜，该斜面安装到第二棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第一偏振分束器。第二堆包括具有斜面的第三棱镜，该斜面安装到第四棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第二偏振分束器。第一、第二、第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中至少一个之间的光束路径中。重定向光学元件至少与第一和第三棱镜的垂直面相邻。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 期望 光束 模式 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种干涉仪系统，包括：菱形组件，包括：第一光学堆，包括：包括第一垂直面和第一斜面的第一棱镜；包括第二斜面和第三斜面的第二棱镜，其中：通过将所述第一斜面固定到所述第二斜面上，所述第一棱镜被安装到所述第二棱镜上；所述第一和第二斜面之间的第一界面包括第一偏振分束器；所述第三斜面包括第一镜；在所述第一光学堆顶部的第二光学堆，包括：包括第二垂直面和第四斜面的第三棱镜；包括第五斜面和第六斜面的第四棱镜，其中：通过将所述第四斜面固定到所述第五斜面上，所述第三棱镜被安装到所述第四棱镜上；所述第四和第五斜面之间的第二界面包括第二偏振分束器；所述第六斜面包括第二镜；第一波片元件、第二波片元件、第三波片元件和第四波片元件，位于所述菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中的至少一个之间的光束路径中；和重定向光学元件，定位为至少与所述第一垂直面和所述第二垂直面相邻。
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