[发明专利]用于湿制程槽的液体流量控制系统、以及湿制程系统有效
| 申请号： | 200510076885.4 | 申请日： | 2005-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1885497A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡博涛 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;C23F1/00;G05D7/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于湿制程槽的液体流量控制系统、以及湿制程系统，所述用于湿制程槽的液体流量控制系统，其包括可编程逻辑控制器、气动阀、阀门监视器。上述可编程逻辑控制器是产生一操作信号。该气动阀是依据该操作信号，用以控制液体流入及/或流出该湿制程槽的流量。该阀门监视器与该可编程逻辑控制器及该气动阀操作上耦接，用以监测该气动阀的阀门的位置。本发明所述用于湿制程槽的液体流量控制系统、以及湿制程系统，可实时地侦测湿制程槽循环阀是否正常发挥功能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 湿制程槽 液体 流量 控制系统 以及 湿制程 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于湿制程槽的液体流量控制系统，所述用于湿制程槽的液体流量控制系统包括：可编程逻辑控制器，其是产生一操作信号；以及气动阀，其是依据该操作信号，用以控制液体流入及/或流出该湿制程槽的流量；以及阀门监视器，其与该可编程逻辑控制器及该气动阀操作上耦接，用以监测该气动阀的阀门的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
