[发明专利]碟片原版的制作方法无效
申请号: | 200510077046.4 | 申请日: | 2005-06-15 |
公开(公告)号: | CN1881440A | 公开(公告)日: | 2006-12-20 |
发明(设计)人: | 谢明贤;林文祺;庄振宏 | 申请(专利权)人: | 精碟科技股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/26 | 分类号: | G11B7/26;G03F7/00 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种碟片原版的制作方法,其包括:提供一热源于一基板中央处;涂布一光阻层于基板之上;激光刻版并显影光阻层;以及形成一金属层于光阻层。因依本发明的碟片原版的制作方法,是针对光阻涂布的技术加以修改,使得光阻层具有中央厚度较薄而周缘厚度较厚的变化,之后,光阻层进行激光刻版步骤时,即能形成周缘沟槽深度较深的碟片原版,如此一来,即能改善习知技术中基板外圈深度不足的缺陷,以提升光资讯储存媒体的生产品质。 | ||
搜索关键词: | 碟片 原版 制作方法 | ||
【主权项】:
1、一种碟片原版的制作方法,其特征在于其包括以下步骤:提供一热源于一基板中央处;涂布一光阻层于该基板之上;激光刻版并显影该光阻层;以及形成一金属层于该光阻层。
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