[发明专利]光刻显影装置及采用该装置制造滤色片基板的方法有效
| 申请号： | 200510077259.7 | 申请日： | 2005-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1716100A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 白承汉 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;祁建国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造用于显示面板的滤色片基板的光刻显影装置。所公开的光刻装置包括提供负显影溶液的显影溶液供应装置。该光刻装置还包括用于形成黑矩阵的形成使用的正光刻胶图案的第一光刻装置，其中通过采用负显影溶液和正光刻胶对基板上形成的光屏蔽层构图形成该正光刻胶图案。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 显影 装置 采用 制造 滤色片基板 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制造用于显示面板的滤色片基板的光刻显影装置，包括：显影溶液供应装置，其用于提供负显影溶液；以及第一光刻装置，其形成用于形成黑矩阵的正光刻胶图案，其中通过采用负显影溶液和正光刻胶对形成在基板上的光屏蔽层构图形成正光刻胶图案。
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