[发明专利]台架设备及其控制方法无效
| 申请号： | 200510077400.3 | 申请日： | 2005-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1713365A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 金东亿;崔相轸;吴种汉 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/20;G02F1/133;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭鸿禧;李友佳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种台架设备包括：一对第一引导件，相互平行地放置；一对滑动件，分别结合到所述一对第一引导件上以与该第一引导件一起移动；第二引导件，结合到所述一对滑动件上沿着该滑动件移动；头部，结合到所述第二引导件上以便和所述第二引导件一起移动并沿着该第二引导件移动；转动单元，设置在所述滑动件和所述第二引导件之间并绕着轴线转动所述第二引导件，所述轴线与所述滑动件和所述头部的移动方向垂直。所述台架设备能够在不同的方向调整所述头部的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 台架 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种台架设备，包括：一对第一引导件，相互平行地放置；一对滑动件，分别结合到所述一对第一引导件上以沿着所述第一引导件移动；第二引导件，结合到所述一对滑动件上以与所述滑动件一起移动；头部，结合到所述第二引导件上，能够与所述第二引导件一起移动，并能够沿着所述第二引导件移动；转动单元，设置在所述滑动件和所述第二引导件之间以控制所述第二引导件绕着垂直于所述滑动件和头部的移动方向的线转动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
