[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法和平板显示器无效
申请号: | 200510077506.3 | 申请日: | 2005-06-17 |
公开(公告)号: | CN1710721A | 公开(公告)日: | 2005-12-21 |
发明(设计)人: | 李宪贞;具在本 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L51/20;H01L21/312;H01L21/28;H01L21/336;G02F1/1368;G09F9/30 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 韩明星;谭昌驰 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜晶体管(TFT)、制造该TFT的方法以及具有该TFT的平板显示器(FPD),其中,所述的TFT包括:衬底;栅电极,设置在衬底上;栅绝缘层,设置在栅电极上;源电极和漏电极,设置在栅绝缘层上并且与栅电极绝缘;和有机半导体层,接触源电极和漏电极并且与栅电极绝缘。在此,氧化部分被设置在与有机半导体层接触的源电极和漏电极的部分上,并且,氧化部分由功函数大于有机半导体层的HOMO能级的材料形成。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 平板 显示器 | ||
【主权项】:
1、一种薄膜晶体管,包括:衬底;栅电极,设置在衬底上;源电极和漏电极,设置在衬底上;栅绝缘层,设置在栅电极与源电极和漏电极之间;和有机半导体层,接触源电极和漏电极并且与栅电极绝缘,其中,在源电极和漏电极与有机半导体层接触的部分上形成有氧化部分。
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