[发明专利]一种生产多晶硅用的还原炉无效
| 申请号： | 200510077714.3 | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1884068A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 刘雅銘;刘寄声 | 申请（专利权）人： | 刘雅銘 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100076*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种生产多晶硅的还原炉，特别是一种可以生产大直径多晶硅的还原炉，以此来提高多晶硅的产量和质量，降低多晶硅的电耗和生产成本。为达到上述目的，本发明采用了双层壳体，而且内壳是由石英玻璃制成的；内外壳体之间另设有加热器；内壳体的顶部和加热器的外部都设有隔热板；炉里的发热体是用石磨制成的，并被密封在一根石英管内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 多晶 还原 | ||
【主权项】：
1，一种生产多晶硅用的还原炉，它是由不锈钢外壳(1)、底盘(7)、发热体(3)、电极(6)、进料管(4)、尾气管(5)、观察窗(10)等另部件组成，其特征在于：该还原炉的壳体是两层，除了不锈钢外壳(1)之外，里面还有一层由石英玻璃制成的壳体(2)；在这个石英玻璃壳体(2)的顶部接有进料管(4)，底部接有尾气管(5)，中心部位装有用石磨制成的发热体(3)；在不锈钢外壳(1)与石英玻璃制成的壳体(2)之间的空腔里面装有石磨加热器(9)；上述的发热体(3)与电极(6)相连，而石磨加热器(9)是与电极(11)相连，它们是两个独立的供电系统；发热体(3)和石磨加热器(9)都与炉体绝缘，其下面都垫有一层石英玻璃(18)；在石英玻璃制成的壳体(2)的顶部装有用石磨制成的圆形隔热板(12)；在不锈钢外壳(1)与石英玻璃壳体(2)之间的空腔里面装有用石磨制成的筒状隔热板(13)。
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