[发明专利]校正压力传感器的零点偏移电压的方法无效
| 申请号： | 200510078058.9 | 申请日： | 2005-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1880934A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 黄德昌;林弘毅;徐文祥 | 申请（专利权）人： | 探微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L25/00;G01L27/00;G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章;马莹 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种校正压阻式压力传感器的零点偏移电压的方法，其至少包含有下列步骤。首先，提供至少一压阻式压力传感器测试样本，并测量出该压阻式压力传感器测试样本的一零点偏移电压值。随后依据该零点偏移电压值计算出一相对应的应力偏差值。接着在与该压阻式压力传感器测试样本相同的工艺条件下制作至少一压阻式压力传感器，且在制作该压阻式压力传感器的过程中，依据该应力偏差值在该压阻式压力传感器的至少一表面形成一应力调整薄膜，以校正该压阻式压力传感器的零点偏移电压。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 压力传感器 零点 偏移 电压 方法 | ||
【主权项】：
1.一种校正压力传感器的零点偏移电压的方法，其包含有：提供至少一压力传感器测试样本，并测量出该压力传感器测试样本的一零点偏移电压值；依据该零点偏移电压值计算出一相对应的应力偏差值；以及在与该压力传感器测试样本相同的工艺条件下制作多个压力传感器，且在制作所述压力传感器的过程中，依据该应力偏差值在所述压力传感器的至少一表面形成一应力调整薄膜，以校正所述压力传感器的零点偏移电压。
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