[发明专利]硬质保护膜及其制造方法有效
| 申请号： | 200510078391.X | 申请日： | 2005-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1710144A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 久保田和幸 | 申请（专利权）人： | 日立工具股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硬质保护膜，该硬质保护膜是用物理蒸镀法形成的硬质保护膜，由含有选自周期表的4a、5a和6a族的过渡金属元素、Al和B中的至少一种以及Si的金属元素，和选自C、N和O中的至少一种非金属元素构成，上述硬质保护膜具有柱状组织，该柱状组织具有由Si含量有差异的多个层构成的多层结构，在上述层间的边界区域，晶格带是连续的，各层厚度为0.1～100nm。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 保护膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硬质保护膜，该膜是用物理蒸镀法形成的硬质保护膜，其特征是，由含有选自周期表的4a、5a和6a族的过渡金属元素、Al和B中的至少一种以及Si的金属元素，和选自C、N和O中的至少一种非金属元素构成，上述硬质保护膜具有柱状组织，该柱状组织具有由Si含量有差异的多个层构成的多层结构，在上述层间的边界区域，晶格带是连续的，各层厚度为0.1～100nm。
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