[发明专利]二维坐标测量仪

摘要

本发明提供一种二维坐标测量仪。其以式样不同的多个被测定物为拍摄对象，测定各被测定物上的测定对象的尺寸。当以中型光罩(28a)为测定对象时，将中型光罩配置在测量仪本体(12)上部的测定台(24)上，使Y轴移动台(46)沿Y轴框体(26)移动，使测量头(48)沿Y轴移动台、移动，用摄像单元(56、58、60)中的任一个拍摄中型光罩上的图形；当以大型光罩(28b)为测定对象时，将大型光罩配置在框体(38)和装载件(40)上，使Y轴移动台、沿Y轴框体、移动，同时使测量头、沿Y轴移动台、移动，用向上的摄像单元(62)拍摄大型光罩(28b)上的图形，用PC(50)处理各拍摄结果，将处理结果显示在显示装置(52)的画面中。

主权项

1.一种二维坐标测量仪，其特征在于，包括：支承多个被测定物中的一个被测定物的第1支承构件；与上述一个被测定物之间留有空间部、并支承与上述一个被测定物相向配置的另一个被测定物的第2支承构件；以上述多个被测定物为拍摄对象、可以移动地配置在上述空间部内的测量头；与上述一个支承构件相连、以上述空间部作为二维测量头移动区域、使上述测量头在整个上述测量头移动区域内移动的驱动机构；控制上述驱动机构的驱动的控制机构；以及，处理上述测量头拍摄的图像来测定上述各被测定物上的测定对象的尺寸(坐标)的图像处理机构；上述测量头拍摄上述多个被测定物上的测定对象中的、与上述测量头移动区域相对应的区域中存在的测定对象。