[发明专利]半导体激光元件及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200510079415.3 申请日: 2005-06-21
公开(公告)号: CN1713471A 公开(公告)日: 2005-12-28
发明(设计)人: 桥本隆宏 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H01S5/22 分类号: H01S5/22
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供了一种在p型覆层上沉积绝缘膜的半导体激光元件,其中可以通过抑制在半导体激光元件中的p型覆层上导致的热应力来防止半导体激光元件的体劣化。化合物半导体多层结构(2)通过依次在沉积方向上沉积n型覆层(8)、有源层(9)和具有形成于其上的脊部分(19)的p型覆层(10)来形成。然后,在化合物半导体多层结构(2)的沉积方向上沉积绝缘膜(3),该绝缘膜由折射率与构成所述第二覆层(10)的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成。本发明还涉及制造该半导体激光元件的方法。
搜索关键词: 半导体 激光 元件 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种半导体激光元件,包括:化合物半导体多层结构,至少由第一导电类型的第一覆层(8)、有源层(9)以及第二导电类型的第二覆层(10)组成,这些层在一个方向上依次沉积,所述第二覆层包括呈条状(8,9,10)的脊部分(19);以及绝缘膜(3),由折射率与构成所述第二覆层的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成,其中,所述绝缘膜(3)沉积于所述第二覆层(10)上。
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