[发明专利]半导体激光元件及其制备方法无效
申请号: | 200510079415.3 | 申请日: | 2005-06-21 |
公开(公告)号: | CN1713471A | 公开(公告)日: | 2005-12-28 |
发明(设计)人: | 桥本隆宏 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01S5/22 | 分类号: | H01S5/22 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种在p型覆层上沉积绝缘膜的半导体激光元件,其中可以通过抑制在半导体激光元件中的p型覆层上导致的热应力来防止半导体激光元件的体劣化。化合物半导体多层结构(2)通过依次在沉积方向上沉积n型覆层(8)、有源层(9)和具有形成于其上的脊部分(19)的p型覆层(10)来形成。然后,在化合物半导体多层结构(2)的沉积方向上沉积绝缘膜(3),该绝缘膜由折射率与构成所述第二覆层(10)的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成。本发明还涉及制造该半导体激光元件的方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体 激光 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光元件,包括:化合物半导体多层结构,至少由第一导电类型的第一覆层(8)、有源层(9)以及第二导电类型的第二覆层(10)组成,这些层在一个方向上依次沉积,所述第二覆层包括呈条状(8,9,10)的脊部分(19);以及绝缘膜(3),由折射率与构成所述第二覆层的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成,其中,所述绝缘膜(3)沉积于所述第二覆层(10)上。
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