[发明专利]感光性树脂组合物和元件、以及相关构件的制造方法有效

专利信息
申请号: 200510079627.1 申请日: 2001-05-29
公开(公告)号: CN1721991A 公开(公告)日: 2006-01-18
发明(设计)人: 深谷雄大;远藤昌树;阿部卓治;板垣胜俊 申请(专利权)人: 日立化成工业株式会社
主分类号: G03F7/033 分类号: G03F7/033
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 徐川
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明是满足以下(1)和(2)的感光性树脂组合物:(1)对具有37~42μm厚度的上述感光性树脂组合物层,以下列条件喷射喷雾1.0重量%碳酸钠水溶液时,上述感光性树脂组合物层能够在20秒以内被除去。其中,上述条件是:上述喷雾的喷嘴内径为1.2mm,喷雾压力为0.05MPa,上述喷雾喷嘴与上述感光性树脂组合物层最近的点和上述感光性树脂组合物层的距离为50mm。(2)在有直径6mm的孔3个相连、长度16mm的三连孔18个的镀铜层压板上,层叠有上述厚度的感光性树脂组合物层,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,对该硬化膜以上述条件喷雾喷射1.0重量%碳酸钠水溶液36秒钟×3次时,孔破裂数在5个以下。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 以及 相关 构件 制造 方法
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其特征在于,含有(A)粘合剂聚合物,(B)光聚合性化合物,和(C)光聚合引发剂,上述(B)成分含分子内具有乙二醇链和丙二醇链二者的聚亚烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯,上述(C)成分含有吖啶或在分子内有至少一个吖啶基的吖啶系化合物。
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