[发明专利]具有一质量负荷周边的薄膜体声波谐振器有效

专利信息
申请号: 200510079662.3 申请日: 2005-06-24
公开(公告)号: CN1801614A 公开(公告)日: 2006-07-12
发明(设计)人: 丰红均;R·沙恩·法斯奇奥;理查德·鲁比;保罗·布拉德利 申请(专利权)人: 安捷伦科技公司
主分类号: H03H9/17 分类号: H03H9/17;H03H9/02
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人: 王允方
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明揭示了一种由中间夹有一压电材料的电极制成的谐振器结构(FBAR)。所述两个导电电极的相交界定了所述声波谐振器的有效面积。将所述有效面积划分为两个同心区域:一周边或框及一中心区域。将一环添加到两个导电电极中的一个以提高电性能(就Q而言)。
搜索关键词: 具有 质量 负荷 周边 薄膜 声波 谐振器
【主权项】:
1.一种用于俘获一频带内的能量的装置,其包含:一第一电极;一定位于所述第一电极附近及上方的第二电极;所述第一电极与所述第二电极的重叠界定一有效面积;一插入所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄片;一定位于所述第一电极和第二电极中的一个的一表面上的环;其中所述环内的区域具有一第一声阻抗,所述环具有一第二声阻抗,且所述环外的区域具有一第三声阻抗;和所述第二声阻抗大于所述第一和所述第三声阻抗。
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