[发明专利]具有一质量负荷周边的薄膜体声波谐振器有效
申请号: | 200510079662.3 | 申请日: | 2005-06-24 |
公开(公告)号: | CN1801614A | 公开(公告)日: | 2006-07-12 |
发明(设计)人: | 丰红均;R·沙恩·法斯奇奥;理查德·鲁比;保罗·布拉德利 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明揭示了一种由中间夹有一压电材料的电极制成的谐振器结构(FBAR)。所述两个导电电极的相交界定了所述声波谐振器的有效面积。将所述有效面积划分为两个同心区域:一周边或框及一中心区域。将一环添加到两个导电电极中的一个以提高电性能(就Q而言)。 | ||
搜索关键词: | 具有 质量 负荷 周边 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】:
1.一种用于俘获一频带内的能量的装置,其包含:一第一电极;一定位于所述第一电极附近及上方的第二电极;所述第一电极与所述第二电极的重叠界定一有效面积;一插入所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄片;一定位于所述第一电极和第二电极中的一个的一表面上的环;其中所述环内的区域具有一第一声阻抗,所述环具有一第二声阻抗,且所述环外的区域具有一第三声阻抗;和所述第二声阻抗大于所述第一和所述第三声阻抗。
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