[发明专利]具有气体喷射组件的溅射装置有效
| 申请号： | 200510079950.9 | 申请日： | 2005-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1743496A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 金成垠 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射装置，包括：腔室；用于将基板装载到腔室中或者从腔室中卸载下来的基板传送单元，该基板传送单元包括在基板和基板传送单元的上表面之间形成气垫的气体喷射组件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气体 喷射 组件 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，包括：腔室，以及基板传送单元，用以将基板加载到腔室中或从该腔室中卸载下来，该基板传送单元包括气体喷射组件，该气体喷射组件在基板和基板传送单元的上表面之间形成气垫。
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