[发明专利]光罩缺陷侦测系统与方法无效
| 申请号： | 200510080092.X | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1715889A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 周怡儒;许志东 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种光罩缺陷侦测系统与方法，所述光罩缺陷侦测系统，包括第一处理装置、第二处理装置、第三处理装置、及储存装置。该第一处理装置是用以将光罩设计数据转换为第一读写机格式光罩数据，其中该第一处理装置包含第一处理模块。该第二处理装置，是用以将该光罩设计数据转换为第二读写机格式光罩数据，其中该第二处理装置包含第二处模块，是为该第一处理模块的不相同相对物。该第三处理装置，是用以比对该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据，以确认该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据之间是否有差异。该储存装置，是用以储存该光罩设计数据、该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 侦测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光罩缺陷侦测系统，所述光罩缺陷侦测系统包括：第一处理装置，其是用以将光罩设计数据转换为第一读写机格式光罩数据，其中该第一处理装置包含第一处理模块；第二处理装置，其是用以将该光罩设计数据转换为第二读写机格式光罩数据，其中该第二处理装置包含第二处理模块，其是为该第一处理模块的不相同相对物；第三处理装置，其是用以比对该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据，以确认该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据之间是否有差异；以及储存装置，其是用以储存该光罩设计数据、该第一读写机格式光罩数据和该第二读写机格式光罩数据。
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