[发明专利]含有含氟化合物的气体的处理方法及设备无效
| 申请号： | 200510080106.8 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1887410A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李秋煌;黄建良;卢敏彦;张美元 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院;成泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/86 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于含氟化合物的触媒分解处理技术，尤其有关半导体产业所产生的含全氟碳化物，氢氟碳化物，NF3，或SF6的废气的触媒分解处理技术。一种含有含氟化合物的气体的处理方法，包含下列步骤：a)于水气或水气及氧的存在下，将一含有含氟化合物的气体于300～800℃与触媒接触，使该含氟化合物被分解，而形成含有氟化氢的第一处理气体产物；b)将该第一处理气体产物与一固态吸附剂接触，使该第一处理气体产物中的氟化氢为该吸附剂所吸附，而形成一实质上不含有氟化氢的第二处理气体产物。由于第二处理气体产物不含有强腐蚀性氟化氢，于是本发明可使用一热交换器使其加热该含有含氟化合物的气体，而回收该第二处理气体产物的热。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 氟化 气体 处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种含有含氟化合物的气体的处理方法，包含下列步骤：a)于水气或水气及氧的存在下，将一含有含氟化合物的气体于300～800℃与触媒接触，使该含氟化合物被分解，而形成含有氟化氢的第一处理气体产物；b)将该第一处理气体产物与一固态吸附剂(sorbent)接触，使该第一处理气体产物中的氟化氢为该吸附剂所吸附，而形成一实质上不含有氟化氢的第二处理气体产物。
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