[发明专利]用于涂敷光刻胶的装置和方法有效
| 申请号： | 200510080129.9 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1743957A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 权五晙 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;祁建国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于将光刻胶涂敷在基板上的装置。该光刻胶涂敷装置包括喷嘴、排放单元以及杂质挡板。喷嘴将光刻胶涂敷在基板上。排放单元与喷嘴的下部一体形成并排放光刻胶。杂质挡板形成在喷嘴的前下部并保护排放单元不接触基板上的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于将光刻胶涂敷在基板上的装置，所述装置包括：与喷嘴一体形成用于排放光刻胶的排放单元；以及形成在所述排放单元的前下部并且设置用来保护所述喷嘴不接触所述基板上的杂质的杂质挡板。
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