[发明专利]微加工涡卷式压缩机和相关技术

摘要

本发明涉及一个微机械加工的器件，微涡卷压缩机装配件含动涡卷和定涡卷，完整的内置微马达驱动动涡卷，由静电力侧面驱动。微器件的加工方法。该微装置可以用作为微步进马达，也可用作为生物传感器。

主权项

1.一个微加工装置，包含一个定涡卷部件，该定涡卷部件包括底板、电传导线、底板边缘的圆形外壳和涡卷壁，包括定涡卷壁中的电极；动涡卷包括底板和涡卷壁，构成一个完整的微结构——微涡卷装置，其压缩机和微马达为一体，提供双功能：同时进行驱动和压缩。