[发明专利]真空闸阀

摘要

本发明有关于一种真空闸阀，尤指一种可气密隔绝或导通两真空腔的真空闸阀，利用连动杠杆机构将纵向的线性动力转换为开关阀门所需的纵向力与横向力，以提供足以抗衡两真空腔间压力差的横向力，同时避免阀门的气密环(O－ring)于开关操作时磨损，并使已关闭的阀门于无动力时也能确保气密隔绝两真空腔的状态，更且本发明的一种真空闸阀使用廉价的挠性气密管，可降低真空引入装置成本。

主权项

1.一种真空闸阀，其特征在于包括：一阀体，其一端与一阀盒接合，且该阀体设有一动力单元；一连动板，其两端活动枢设于该阀体的两侧，且该连动板与该动力单元枢接；一传动单元，其包括一挠性气密管与一传动杆，该挠性气密管封包该传动杆的一动力端与一阀门端间的部分，该动力端突出挠性气密管的一活动端，以设于该连动板，且挠性气密管另一端的一固定端固设于阀体与该阀盒接合的一端，使传动杆的该阀门端经设于阀体的一支点孔突入阀盒内；一阀门，设于阀盒内传动杆的阀门端，且该阀门朝向阀体的一正面设有位于单一平面上的一气密凸缘。