[发明专利]检测修复系统

摘要

本发明涉及一种检测修复系统，用以检测、修复一有机发光装置。其中，检测修复系统于侦测缺陷位置时，将有机发光装置的待检测区域施加一偏压，并利用一电流侦测器，如红外光(IR)电流侦测器，侦测出电流分布异常的缺陷位置；且利用一能量束产生器来产生一能量束，能量束用以将缺陷位置隔绝。

主权项

1.一种检测修复系统，其用以检测、修复一有机发光装置，其特征在于，包括：一显微器，其用以将有机发光装置的待检测区域放大；一影像撷取器，其与显微器连结，并撷取显微器所放大的区域影像；一电流侦测器，其与显微器连结，并自显微器所放大的影像中侦测出电流分布异常的至少一缺陷位置；一控制器，其分别与影像撷取器及电流侦测器连结，用以储存影像撷取器所撷取的放大影像及电流侦测器所侦测出的缺陷位置，且依据其所储存的放大影像以及缺陷位置资料产生一第一控制信号；以及一能量束产生器，其与控制器及显微器连结，能量束产生器依据该第一控制信号来产生一用以将缺陷隔绝的能量束。