[发明专利]多级式抽真空装置及其抽真空方法无效
| 申请号： | 200510081114.4 | 申请日： | 2005-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1888426A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 徐佳铭 | 申请（专利权）人： | 建国科技大学 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;C21C7/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李树明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种多级式抽真空装置及其抽真空方法，适用于快速降低一容室的压力，该抽真空装置包含数个腔体、一用于抽取每一腔体内的气体以降低每一腔体内压力的抽气单元、一连接每一腔体并用于控制气体进出每一腔体的控制阀单元，及一连通该控制阀单元与抽气单元的管路单元，利用该抽气单元先行抽取每一腔体内的气体而呈近真空状态，再控制该控制阀单元，使每一腔体分别与该容室相连通，用以抽取该容室内的气体，使该容室快速降低压力。本发明可快速抽气以降低压力、减少能源消耗、避免污染环境，并可确保操作人员的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 多级 真空 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多级式抽真空装置，适用于降低一容室的压力，其特征在于：该抽真空装置包含数个腔体、一抽气单元、一控制阀单元，及一连通该控制阀单元与抽气单元的管路单元，该抽气单元用于抽取每一腔体内的气体，以降低每一腔体的压力，该控制阀单元连接每一腔体，用以控制气体进出每一腔体，利用该抽气单元先行抽取每一腔体内的气体而呈近真空状态，再控制该控制阀单元，使每一腔体分别与该容室相连通。
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