[发明专利]轻气体真空泵送系统有效

专利信息
申请号: 200510081722.5 申请日: 2005-05-11
公开(公告)号: CN1707102A 公开(公告)日: 2005-12-14
发明(设计)人: A·里帕特 申请(专利权)人: 凡利安股份有限公司
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;G01M3/20
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 刘佳
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种真空泵送系统包括具有连接到系统上的一入口和一排气口的第一级真空泵,和具有连接到第一级真空泵的排气口上的一入口的第二级真空泵。第一级真空泵包含无油正排量真空泵,其在入口和排气口之间具有多个间隙密封件。第一级真空泵也可包含涡旋式真空泵,第二级真空泵可包含无油隔膜泵。该系统包括连接到第一级真空泵的排气口上的阀,该阀被构造成根据选定条件如第一级真空泵的排气口处的压力将第一级真空泵的排气口连接到泵间排气口上。
搜索关键词: 气体 真空泵 系统
【主权项】:
1.一种真空泵送系统,包括:具有被构造成用来连接到一系统上的一入口和一排气口的第一级真空泵,该第一级真空泵包含在所述入口和排气口之间具有多个间隙密封件的一无油正排量真空泵;和具有连接到所述第一级真空泵的排气口上的一入口的第二级真空泵。
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