[发明专利]金刚石传感器无效
| 申请号： | 200510081955.5 | 申请日： | 2005-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1721827A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 林和志;橘武史;横田嘉宏;川上信之 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J1/42;H01L31/09 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 金刚石元件安装在设有一对金属互连件的、厚度不超过3毫米的绝缘基底材料上。在金刚石元件中，用作检测层的绝缘金刚石层沉积在衬底上，一对叉指型电极沉积在该绝缘金刚石层的表面上。金刚石元件的叉指型电极通过引线连接在沉积于绝缘基底材料上的金属互连件上。绝缘基底材料可透射待检测的紫外线辐射。即使在灯与照射目标之间的距离较短时，金刚石传感器也能够稳定地检测紫外线辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石传感器，包括：厚度不超过3毫米的绝缘基底材料；选择性地沉积于所述绝缘基底材料上的至少一对金属互连件；和金刚石元件，所述金刚石元件包括用作检测层的金刚石层以及沉积于所述金刚石层上的至少一对表面电极，其中所述表面电极对中的表面电极连接在所述金属互连件对中的其相应金属互连件上。
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