[发明专利]滑动部件的制造方法有效
| 申请号： | 200510082096.1 | 申请日： | 2005-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1724475A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | 金田英樹;北村哲弥;宇野仁 | 申请（专利权）人： | 兄弟工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B41/72 | 分类号： | C04B41/72 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 利用等离子蚀刻法部分地除去形成于基材表面的DLC(类金刚石(Diamond Like Carbon))覆盖膜的滑动部件的制造方法，其中，蚀刻气体的压力大于0Pa、小于等于26Pa。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.滑动部件的制造方法，它是利用等离子蚀刻法部分除去形成于基材表面的DLC(类金刚石(Diamond Like Carbon))覆盖膜的滑动部件的制造方法，其特征在于，蚀刻气体的压力大于0Pa、小于等于26Pa。
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