[发明专利]用于活性气体的内置净化器有效
| 申请号： | 200510082198.3 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1734155A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | J·L·文森特;R·M·皮尔斯泰恩;K·R·伯格;A·J·小拉查威 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | F17C1/00 | 分类号： | F17C1/00;F17C13/00;B01D53/04;B01D46/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭广迅;邹雪梅 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明是容纳和分配高纯流体的装置，包含能够在其内部容纳大量高纯流体的外容器；和外容器相连以分配高纯流体的出口；能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀；至少部分位于外容器中并和出口连接的内容器，具有和外容器的内部连接的入口；包含在内容器内的净化介质，以净化高纯流体中的不希望有的成分；以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 活性 气体 内置 净化器 | ||
【主权项】：
1.用于容纳和分配高纯流体的装置，包含在其内部能够容纳大量高纯流体的外容器；和外容器相连以分配该高纯流体的出口；能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀组件；至少部分位于外容器内的内容器，它和出口连接，并具有和外容器内部连接的入口；包含在内容器里的净化介质，用于净化高纯流体中不希望有的组分；以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。
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