[发明专利]用于抽空试件的设备有效
| 申请号： | 200510082199.8 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1715862A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | B·布伊泽;M·T·莫伊维泽;M·维利－迪尔曼;S·A·M·门廷克;T·H·J·比肖普斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;H01J37/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;杨松龄 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于抽空试件的设备。试件(4)放在带有光滑表面(2)的片状物(1)上的空腔(3)中。底板(5)放在此光滑表面(2)上，因而光滑表面(2)与放置在其上的底板(5)一起形成真空密封。上面安装真空柱(6)的底板(5)可在光滑表面(2)上滑动。通过使底板(5)在空腔(4)上面滑动，以几个步骤抽空空腔(4)。在本发明的实施例中，真空柱(6)呈环境扫描电子显微镜的形式。这样，可利用ESEM检查被抽空的试件(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抽空 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于抽空试件的至少部分的设备，包括：片状物，设置有光滑表面，在该光滑表面中形成至少一个用于放置试件(4)的孔；底板，相对于光滑表面可滑动，该底板呈现相对于光滑表面的密封表面；底板呈现通孔，使得通孔一端穿透密封表面而通孔的另一端连接至真空柱内部，其特征在于，-整个试件被抽空；-底板可完全覆盖孔。
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