[发明专利]大气式等离子体清洁设备无效
| 申请号： | 200510082240.1 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1891360A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 费耀祺 | 申请（专利权）人： | 昶驎科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大气式等离子体清洁设备，其中包括：一等离子体产生模块，其于预定的参数设定下产生等离子体区域，其中该参数包括：环境压力为常压；一气体供应模块，其连通于该等离子体产生模块，以提供气体给该等离子体产生模块使用；一输送模块，其设置于该等离子体产生模块下方，用以承载至少一待清洁物至该等离子体产生模块所产生的等离子体区域，以进行该待清洁物的清洁，其中该待清洁物在经过该等离子体区域时的表面温度为50～80摄氏度；一控制模块，其至少电性连接于该等离子体产生模块、该气体供应模块及该输送模块；以及一电源供应模块，其至少电性连接于该等离子体产生模块、该输送模块及该控制模块，以提供电力来源。 | ||
| 搜索关键词： | 大气 等离子体 清洁 设备 | ||
【主权项】：
1、一种大气式等离子体清洁设备，其中包括：一等离子体产生模块，其于预定的参数设定下产生等离子体区域，其中该参数包括：环境压力为常压；一气体供应模块，其连通于该等离子体产生模块，以提供气体给该等离子体产生模块使用；一输送模块，其设置于该等离子体产生模块下方，用以承载至少一待清洁物至该等离子体产生模块所产生的等离子体区域，以进行该待清洁物的清洁，其中该待清洁物在经过该等离子体区域时的表面温度为50～80度；一控制模块，其至少电性连接于该等离子体产生模块、该气体供应模块及该输送模块；以及一电源供应模块，其至少电性连接于该等离子体产生模块、该输送模块及该控制模块，以提供电力来源。
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