[发明专利]微小图案修正装置及微小图案的缺陷修正方法无效
| 申请号： | 200510082397.4 | 申请日： | 2005-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1716043A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 猿田正弘;斋藤馨 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社;奥普德旺株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02B5/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种可以短时间对微小图案的缺陷进行修正、装置价格低廉、装置设置面积小且修正质量好的微小图案修正装置。该微小图案修正装置具备：包括照射激光束以除去黑色缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、涂布墨水以修正缺色缺陷的墨水涂布单元(3)及对突起缺陷进行研磨、修正的带研磨单元(5)在内的修正头部(6)；用于修正头部(6)定位的XYZ台(7)～(9)，搭载被修正玻璃基板(10)的玻璃平台(11)。因而，可以1台装置对缺色缺陷、黑色缺陷及突起缺陷进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 图案 修正 装置 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对形成于基板(10)上的微小图案的缺陷进行修正的微小图案修正装置，其特征在于，该微小图案修正装置具备：包括将修正液(45)涂布于缺陷的涂布单元(3)、照射激光束以除去缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、对缺陷进行研磨的带研磨单元(5)的修正头部(6)；搭载所述基板(10)的工作台(11)；使所述修正头部(6)与所述工作台(11)相对移动而在三维空间进行定位的定位装置(7)～(9)。
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