[发明专利]液滴涂布方法、液滴涂布装置、电光学装置和电子仪器无效
| 申请号： | 200510082532.5 | 申请日： | 2005-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1727923A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 三浦弘纲;尼子淳 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能确保高度精度，又能获得细小直径柱状体的液滴涂布方法。喷出液滴(L)涂布基板(P)。反复进行向喷出液滴(L1)付与光能的工序，和在付与了光能的液滴(L1)上堆积下一个液滴(L2)的涂布工序。 | ||
| 搜索关键词： | 液滴涂布 方法 装置 光学 电子仪器 | ||
【主权项】：
1.一种液滴涂布方法，在喷出多个液滴涂布基板的液滴涂布方法中，其特征在于：反复进行向涂布的液滴付与光能的工序；和在上述付与了光能的液滴上堆积下一个液滴而进行涂布的工序。
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