[发明专利]氮化铝粉末及其制造方法和用途无效
申请号: | 200510082650.6 | 申请日: | 2005-07-06 |
公开(公告)号: | CN1718331A | 公开(公告)日: | 2006-01-11 |
发明(设计)人: | 山崎正人;光石健之;原田功;田中将夫;春田浩一;渡利广司;邱进宇;堀田裕司;佐藤公泰 | 申请(专利权)人: | 三井化学株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所 |
主分类号: | B22F9/22 | 分类号: | B22F9/22 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及制造在低于或等于1600℃的温度也可以制成烧结体的氮化铝粉末,获得密度和热传导率高、可以适用于基板材料的氮化铝烧结体。使用如图1所示气相反应装置,反应器(2)由加热带(1)进行加热并保持在300~500℃,一边由流量调节计(3)调节,一边通过供给管(4)向反应器(2)导入氨气,同时,一边通过流量调节计(5)调节,一边通过供应管(6)导入含有机铝化合物的氮气。从而得到氮化铝粉末。将其在还原性气体氛围和/或惰性气体氛围中在1100~1500℃进行热处理,对所得到氮化铝凝集粉末再经机械处理,成为比表面积值大于等于30m2/g、且平均粒子粒径与比表面积换算的粒子粒径的比率小于等于10的氮化铝粉末。 | ||
搜索关键词: | 氮化 粉末 及其 制造 方法 用途 | ||
【主权项】:
1.一种氮化铝粉末,其特征在于:一次粒子粒径小于等于0.06μm,且二次粒子粒径与一次粒子粒径的比率(二次粒子粒径/一次粒子粒径)小于等于10。
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