[发明专利]磨削装置

摘要

本发明提供一种即使在被加工物的表面贴着保护带并对里面进行磨削，也不会受到保护带厚度偏差的影响，可把被加工物磨削至预定完工厚度的磨削装置。该磨削装置具备：卡台；磨削机构；磨削进给机构；和检测由卡台保持的被加工物的上面的高度位置的高度计，该磨削装置还具备测出被加工物的厚度的厚度测量仪，和基于来自厚度测量仪和高度计的检测数据控制磨削机构及磨削进给机构的控制机构。控制机构由厚度测量仪测定的加工前的被加工物的厚度和被加工物的完工厚度数据算出目标磨削量，并基于来自高度计的检测数据从加工前的被加工物的高度位置磨削达到与目标磨削量相当的高度位置。

主权项

1、一种磨削装置，具备：具有保持被加工物的保持面的卡台；对保持在该卡台的保持面上的被加工物进行磨削的磨削机构；将该磨削机构在与卡台的保持面垂直的方向上磨削进给的磨削进给机构；和检测由卡台保持的被加工物的上表面的高度位置的高度计，其特征在于，该磨削装置还具备：检测被加工物的厚度的厚度测量仪；和基于来自该厚度测量仪和该高度计的检测数据控制该磨削机构及该磨削进给机构的控制机构；该控制机构具有存储机构，该存储机构具有存储被加工物的完工厚度数据的第1存储区域、存储由该厚度测量仪测定的加工前的被加工物的厚度数据的第2存储区域、和存储基于完工厚度数据与加工前的被加工物的厚度数据而算出的目标磨削量的第3存储区域，在基于来自该高度计的检测数据，从加工前的被加工物的高度位置达到与该目标磨削量相当的高度位置后，停止该磨削进给机构的磨削进给。