[发明专利]半导体器件及其制造方法无效
申请号: | 200510083593.3 | 申请日: | 2005-07-11 |
公开(公告)号: | CN1719603A | 公开(公告)日: | 2006-01-11 |
发明(设计)人: | 渡边充;福井哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体器件,其特征在于,包括:半导体芯片,其中该半导体芯片具有半导体衬底和焊接用金属层,该焊接用金属层包括在上述半导体衬底的主面上设置且形成有上述半导体衬底和肖特基结的第一金属层、设置在上述第一金属层上且以铝为主要成分的第二金属层、设置在上述第二金属层上且以钼和钛为主要成分的第三金属层、和形成在上述第三金属层上且至少包含Ni、Fe、Co中的任意一种的第四金属层;第一框架;设置在上述焊接用金属层上、接合上述半导体芯片和上述第一框架的焊料层;以及与上述半导体芯片的背面相接合的第二框架。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种半导体器件,其特征在于,包括:半导体芯片,其中该半导体芯片具有半导体衬底和焊接用金属层,该焊接用金属层包括设置在上述半导体衬底主面上且形成有上述半导体衬底和肖特基结的第一金属层、设置在上述第一金属层上且以铝为主要成分的第二金属层、设置在上述第二金属层上且以钼和钛为主要成分的第三金属层、以及形成在上述第三金属层上且至少包含Ni、Fe、Co中的任意一种的第四金属层;第一框架;在上述焊接用金属层上设置并接合上述半导体芯片和上述第一框架的焊料层;以及与上述半导体芯片的背面相接合的第二框架。
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