[发明专利]压电致动器及设备无效
申请号: | 200510084067.9 | 申请日: | 2005-07-12 |
公开(公告)号: | CN1722600A | 公开(公告)日: | 2006-01-18 |
发明(设计)人: | 长滨玲子 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00;G04C3/12 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题是提供一种可以提高驱动性能的可靠性的压电致动器和设备。作为解决手段,在包含弯曲振动模式的振动波腹的位置处形成检测电极(82D、82E)。因此,可以消除弯曲变形达到最大的纵振动模式的相位差的影响。另外,在激励弯曲振动模式时使用的一侧驱动电极(82B、82C)的位置上分别形成检测电极(82D、82E)。由此,产生与纵振动模式符号相反的弯曲振动模式的相位差,所以容易区别以纵振动模式为主的频率和以弯曲振动模式为主的频率的相位差,可以根据各种频率时的振动动作进行可靠控制。因此,可以确保由纵振动模式的振动产生的良好驱动力。 | ||
搜索关键词: | 压电 致动器 设备 | ||
【主权项】:
1.一种压电致动器,其利用包括主振动模式和弯曲振动模式的压电元件的振动,驱动被驱动体,其特征在于,具有:驱动电极,其用于对所述压电元件施加驱动信号,使该压电元件振动;检测电极,其用于检测所述压电元件的振动动作;以及控制单元,其根据所述驱动信号和所述检测电极所检测的检测信号之间的相位差,控制所述驱动信号,所述检测电极形成在因所述弯曲振动模式而产生的相位差和因所述主振动模式而产生的相位差表现为相反符号的位置上。
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