[发明专利]用于面板处理系统的吸取单元组件有效
申请号: | 200510084092.7 | 申请日: | 2005-07-12 |
公开(公告)号: | CN1721092A | 公开(公告)日: | 2006-01-18 |
发明(设计)人: | 朴庸硕 | 申请(专利权)人: | 显示器生产服务株式会社 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 罗正云;宋志强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种用于面板处理系统的吸取单元组件,包括:压力流体生成单元;流体供给单元,该流体供给单元具有与所述压力流体生成单元相通的供给通道,并具有排出室;将由供给通道供给的压力流体引导至排出室的导向单元;以及吸取单元,该吸取单元具有与所述导向通道相通且通过压力流体的流动而形成负压的吸取通道。 | ||
搜索关键词: | 用于 面板 处理 系统 吸取 单元 组件 | ||
【主权项】:
1、一种用于面板处理系统的吸取单元组件,包括:朝向面板表面设置的吸取单元,该吸取单元具有多个吸取附着在面板上的异物的吸取通道;和朝向吸取单元设置的导向单元,该导向单元具有多个导向通道,导向通道用于引导压力流体流动以在吸取通道中形成吸收异物的吸力。
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