[发明专利]可单独移动的基材支撑件

摘要

本发明有关一种用来输送一基板至一基板支撑件的方法及设备。在一实施例中，一种输送基板的方法包含在一第一组及第二组举升销上同时支撑一基板于一基板支撑件上表面的上方，该第一及第二组举升销以可移动地方式设置穿过该基板支撑件。该第一组举升销可延伸至一第一高度且该第二组举升销可延伸至一比该第一高度低的第二高度。该第二组举升销被设置在该第一组举升销的径向内围处。缩小介于该第一组及第二组举升销与该上表面之间的相对距离，使得该基板可从靠近该基板中心的一个点到该基板的边缘平顺地且持续地接触该上表面。

主权项

1.一种用以在一处理室中支撑一基板的支撑组件，其至少包含：一支撑组件，其具有一支撑表面及一底面；一第一组举升销，其是以可移动地方式设置穿过该支撑组件并具有一喇叭状的端部用来支撑该基板，及一第二端，其延伸超过该底面；及一第二组举升销，其是以可移动地方式设置穿过该支撑组件，该第二组举升销位在该第一组举升销的径向内围处且可以独立于该第一组举升销之外的方式移动并具有一喇叭状端部用来支撑该基板，及一第二端，其延伸超过该底面，其中该第一组举升销的喇叭状端部被设计来将该基板支撑在离该支撑表面上方的一第一距离处且该第二组举升销的喇叭状端部被设计来将该基板支撑在离该支撑表面上方的一第二距离处，该第二距离小于该第一距离。