[发明专利]加速度传感器无效
| 申请号： | 200510084468.4 | 申请日： | 2005-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1773292A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 町田敦司;山田澄夫;田中浩;爱泽尚德;永田宪治;宫下勉;石川宽 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种加速度传感器，包括：形成在半导体基板的中央的重物；形成在所述重物的周边的框架；连接所述重物和所述框架的梁；检测元件，其形成在所述梁上并且检测所述梁的与所施加的加速度相对应的弯曲；以及配线引线，形成在所述梁上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在所述框架上的焊盘；其中，在所述梁上形成有包括与形成在所述梁上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
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