[发明专利]层形成方法、布线基板、电光学装置及电子机器有效
申请号: | 200510084680.0 | 申请日: | 2005-07-14 |
公开(公告)号: | CN1722941A | 公开(公告)日: | 2006-01-18 |
发明(设计)人: | 和田健嗣 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46;H05K3/12;H05K3/10;H05K3/38;H05K3/34;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/288;B41J3/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 由喷墨法形成具有接触孔的绝缘层,该绝缘层是吸收基底层的阶梯差、提供平坦面的绝缘层。采用喷墨法的层形成方法,包括下述步骤:步骤(a),在第1层面的表面上喷吐具有第1浓度的所述第1绝缘材料,以使位于第1层面上的第1导电层的侧面被第1绝缘材料覆盖;步骤(b),使喷吐的所述第1绝缘材料活性化或者干燥,以形成与所述第1导电层接触的第1绝缘层;步骤(c),在所述第1导电层和所述第1绝缘层上,喷吐具有比所述第1浓度更高的第2浓度的第2绝缘材料;和步骤(d),使喷吐的所述第2绝缘材料活性化或者干燥,以形成覆盖所述第1导电层和所述第1绝缘层的第2绝缘层。 | ||
搜索关键词: | 形成 方法 布线 光学 装置 电子 机器 | ||
【主权项】:
1、一种层形成方法,是使用喷墨法的层形成方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤(a),在第1层面的表面上喷吐具有第1浓度的液状的第1绝缘材料,以使位于所述表面上的第1导电层的侧面被所述第1绝缘材料覆盖;步骤(b),使喷吐的所述第1绝缘材料活性化或者干燥,以形成与所述第1导电层接触的第1绝缘层;步骤(c),在所述第1导电层和所述第1绝缘层上,喷吐具有比所述第1浓度更高的第2浓度的液状的第2绝缘材料;步骤(d),使喷吐的所述第2绝缘材料活性化或者干燥,以形成覆盖所述第1导电层和所述第1绝缘层的第2绝缘层。
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