[发明专利]基板检查方法及装置

摘要

基板检查用窗口设定条件的确定方法、基板检查方法、基板检查用的检查数据生成方法、及基板检查装置，能简单确定基板检查用窗口设定条件。部件检查机对部件安装后基板的模型摄像，并接收来自作为上工序检查机的焊锡印刷检查机的同一基板的图像供给。通过对图像间的差分运算和差图像的2值化处理，提取基板上的各部件后，通过与从登记有各种部件的标准检查数据的部件库中提取的部件大小进行对照，特定各部件。根据提取的部件确定部件窗口设定条件，将该设定条件与该部件特定信息一起登记。在检查时，基于登记的设定条件，在检查对象的部件安装图像上设定部件窗口，利用该窗口内的图像数据和与部件特定信息对应的标准检查数据检查部件的安装状态。

主权项

1、一种基板检查用窗口的设定条件的确定方法，其是用于对生产中或者生产结束之后的基板进行检查，对设定在对上述基板进行摄像所得图像上的检查用窗口的设定条件进行确定的方法，其特征在于，采用如下步骤加以实施：在用于部件安装基板的生产而实施的多项工序之中的所定工序实施之后，对作为该工序的实施对象的基板进行摄像，取得生成图像的第1步骤；对上述第1步骤中成为摄像对象的基板，在实施上述所定工序的下一个工序之后再次进行摄像，取得生成图像的第2步骤；提取上述第1步骤和第2步骤中获得的2幅图像之间的差异，利用该提取结果对用于检查所定部位的窗口设定条件进行确定的第3步骤。