[发明专利]制造平板显示器的系统和方法有效
| 申请号： | 200510084835.0 | 申请日： | 2005-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1725076A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | 郑相基 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H01L21/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及制造平板显示器的系统的方法。该系统包括：第一掩模装载/卸载部分，用于装载或卸载至少一个掩模；主掩模工作台，用于接收掩模；第一掩模传送器，用于将掩模从第一掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上；第二掩模装载/卸载部分，设置从第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离；和第二掩模传送器，用于将掩模从第二掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上。该系统可以减少用于制造平板显示器更换掩模所需的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 平板 显示器 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造平板显示器的系统，包括：第一掩模装载/卸载部分，用于装载或卸载至少一个掩模；主掩模工作台，用于接收所述掩模；第一掩模传送器，用于将所述掩模从所述第一掩模装载/卸载部分传送到所述主掩模工作台上；第二掩模装载/卸载部分，设置得从所述第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离；和第二掩模传送器，用于将所述掩模从所述第二掩模装载/卸载部分传送到所述主掩模工作台上。
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