[发明专利]三氟化氮气体的纯化方法

摘要

本发明涉及一种去除三氟化氮(NF₃)气体中N₂F₂杂质的方法。以电解法制备的NF₃气体含有0.1~2％的N₂F₂杂质气体，N₂F₂很不稳定，在高温下很容易分解。本发明利用其高温分解的特性，将一个装有铁、不锈钢、铜、镍、蒙乃尔或上述一种以上金属填料的裂解塔加热到100~400℃后通入含有N₂F₂杂质的NF₃气体，使N₂F₂杂质分解去除。本发明方法能够很安全、有效地去除N₂F₂杂质而又不引起NF₃气体的大量分解。

主权项

1、一种三氟化氮气体的纯化方法，其特征在于：在一个不锈钢、铜、镍或蒙乃尔金属制的裂解塔的外部用远红外加热瓦或电阻丝加热，裂解塔直径为50~500mm，塔高500~5000mm，内部装有铁、不锈钢、铜、镍、蒙乃尔或上述一种以上金属填料，填料的比表面积在70~500m2/m3，填料形式可以为散堆填料也可为规整填料，散堆填料的规格或公称尺寸从2.5至76均可，规整填料的尺寸可以为任何尺寸，将裂解塔加热到100~400℃后通入含有0.1~1％的N2F2杂质的NF3气体，裂解塔的操作压力为0~1MPa，NF3气体在裂解塔内的滞留时间为0.5~30min，N2F2杂质彻底分解去除，NF3气体的分解率小于3％。